UV/ozone UVOCS Inc. – modèle T10X10
Le processus de nettoyage à l'UV/ozone fournit une méthode simple, peu coûteuse et rapide pour obtenir des surfaces ultra-propres exemptes de contaminants organiques. Ce procédé est idéal lorsqu'un dépôt de film mince avec une excellente adhérence à la surface est requis. Les surfaces ultra-propres peuvent facilement être obtenues par traitement UV / ozone en une à plusieurs minutes après que la surface a été nettoyée par des techniques conventionnelles. Le nettoyeur d'ozone UV n'est pas conçu pour éliminer la contamination grossière. Les durées typiques de nettoyage UV / ozone sont d'environ 1 minute.
