Système de dépôt PVD Domino Kila Flex de Oerlikon

Nos équipementsRecherche et développementDépôt par voie sècheEnceintes de dépôt PVD (semi) industrielles

Acquis dans le cadre de notre projet FEDER EMRADEMO2Factory, ce nouvel équipement permettra d'élargir la flotte d'équipements plasma de Materia Nova et de proposer des développements de revêtements aux clients à l'échelle industrielle.

La technologie plasma et les développements de Materia Nova seront démontrés à grande échelle, permettant aux clients d'évaluer la technologie sur des tailles et des volumes d'échantillons qui permettront une pré-validation industrielle.

La flexibilité et la fiabilité des systèmes de revêtement PVD sont des éléments essentiels pour nos projets de recherche. Dotée de 4 sources de pulvérisation, d'un système d'etching pour la préparation de surface,  d'une chambre PVD octogonale autonome et de deux portes (pour le chargement et le déchargement), le système de dépôt PVD Domino Kila Flex de Oerlikon permet:

  • de programmer de très nombreuses recettes d’enrobage,
  • d'analyses plasma et de diagnostics en ligne pour examiner les processus de revêtement,
  • l'intégration des systèmes précurseurs PACVD et de modules complémentaires, ...
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