Boîte à gants 2- ALD
La boîte à gants permet de travailler dans des conditions contrôlées (azote sec); elle est connectée à deux équipements: (1) l'ALD pour permettre de déposer des couches barrières ou d'oxydes métalliques sous gaz inerte (2) microscope AFM Multimode 8 pour la caractérisation à la nanoéchelle des propriétés topographiques, électriques et mécaniques sous gaz inerte (3) un robot permettant d'encapsuler des dispositifs opto-électroniques (OLED, OPV) jusqu'à des dimensions de 10x10 cm2
Notre point fort
- La combinaison boite à gants + Microscopie à sonde locale permet de caractériser à l'échelle nanométrique et en atmosphère contrôlée des dépôts/surfaces sensibles à l'eau et l'oxygène, ce qui est le cas pour les matériaux semi-conducteurs organiques utilisées dans des dispositifs opto-électroniques tels que les OLED et les OPV's. La présence de l'ALD dans le même environnement permet de générer des empilements particuliers comme des structures MIS (Metal/Insulator/semi-conductor) mais aussi d'encapsuler (en combinaison du robot d'encapsulation) des dispositifs avant leur caractérisation hors boîte à gants