Microscope Electronique à Balayage (MEB)
Le MEB est une technique d'analyse microscopique utilisant un canon à effet de champ (FEG en anglais pour Field Emission Gun) qui produit des images en très haute résolution de la surface d’un échantillon (résolution théorique de 1 nm). Cet outil d'analyse microscopique est particulièrement puissant et performant pour des diagnostics rapides (pollution, inclusion…) ou des expertises plus complexes. Notre laboratoire dispose des équipements nécessaires pour réaliser des coupes des échantillons afin d'effectuer des analyses fines sur la tranche (mesures d'épaisseur, analyses de multi-couches, coupes métallographiques ...).
Le MEB est équipé d'un détecteur EDX (rayons X à Dispersion en Energie) qui permet de réaliser des analyses semi quantitatives des éléments chimiques présents. De plus, il offre la possibilité de réaliser des cartographies afin de visualiser la répartition des éléments.
Materia Nova dispose d'un microscope électronique de dernière génération équipé :
- d'un détecteur à électron secondaire classique permettant d'observer le relief de l'échantillon.
- d'un détecteur à électrons rétrodiffusés permettant de déceler des phases de compositions différentes.
- d'un détecteur Inlens pour obtenir des images à haute résolution et à basse tension (1,3 nm de résolution à 1kV), en topographie ou en composition.
- d'un détecteur à électron transmis afin de réaliser des images en transmission (STEM).
- d'un détecteur EDX afin de réaliser des analyses de composition élémentaire.
