Thermosublimator (Multi-Source) Kurt J Leskers SPECTROS
Multi-Source-Thermosublimator (Metalle, MeOx und organische Stoffe), der in einem sehr hohen Vakuum (10-7 Torr) operiert. Die Methode ist ideal für die Herstellung komplexer Schichtstapel mit ausgezeichneter Dickenkontrolle und auf verschiedenen Substraten (Glas, Stahl, Polymere, Textilien,...) auf Flächen von bis zu 10x10 cm2. Die Methode ermöglicht auch das Co-Verdampfen mehrerer Spezies, um Multimaterial- und Hybridschichten mit einer genauen Kontrolle des Anteils der Bestandteile (z. B. dotierte Schichten) zu erzeugen.
Stärke
- Dieser Multi-Source-Thermosublimator (Metalle, MeOx und organische Stoffe) operiert in einem sehr hohen Vakuum von 10-7 Torr und in einer Glovebox für die Herstellung optoelektronischer Geräte, die komplexe Schichten mit ausgezeichneter Raum- und Dickenkontrolle enthalten. Die Methode ermöglicht auch das Co-Verdampfen mehrerer Spezies, so dass Multimaterial-Schichten in genauen Proportionen erzeugt werden können.
