Domino Kila Flex PVD-Beschichtungssystem von Oerlikon

Unsere AusstattungForschung und EntwicklungTrockene Ablagerung(Semi) Industrielle PVD-Beschichtungskammers

Diese neue Ausrüstung wurde im Rahmen unseres FEDER EMRADEMO2Factory-Projekts erworben und wird die Plasmaausrüstungsflotte von Materia Nova erweitern und Kunden Beschichtungsentwicklungen im industriellen Maßstab anbieten.

Die Plasmatechnologie und -entwicklungen von Materia Nova werden in großem Maßstab demonstriert, sodass Kunden die Technologie anhand von Probengrößen und -volumina bewerten können, die eine industrielle Vorvalidierung ermöglichen.

Die Flexibilität und Zuverlässigkeit von PVD-Beschichtungssystemen sind wesentliche Elemente unserer Forschungsprojekte. Ausgestattet mit 4 Sprühquellen, einem Ätzsystem zur Oberflächenvorbereitung, einer eigenständigen achteckigen PVD-Kammer und zwei Türen (zum Be- und Entladen) ermöglicht das Domino Kila Flex PVD-Beschichtungssystem von Oerlikon:

  • eine Vielzahl von Beschichtungsrezepten zu programmieren,
  • Plasmaanalysen und Online-Diagnostik zur Untersuchung von Beschichtungsprozessen,
  • die Integration von PACVD-Vorläufersystemen und Zusatzmodulen, ...
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