4-Point-Messung (Jandell Four-Point Probe und Van der Pauw und Conductive AFM. Kelvin Probe AFM)
Messung der Leitfähigkeit, Schichtwiderstand (Rs) von dünnen Schichten aus Dielektrika und Metallen.
Makro-Messungen für das 4-Point und das Van der Paw und im Nanometerbereich mit dem C-AFM. Kelvin Probe AFM zur Messung des Oberflächenpotenzials bei einer Auflösung von 30 nm.
Stärke
- Eine komplette elektrische Charakterisierungsplattform von der Makro- bis zur Nanoskala (4 Peaks, Hall-Effekt, C-AFM, KPFM, Impedanzspektroskopie), die für die Messung von Leistung/Ausfall von mikroelektronischen Geräten, die Validierung von Materialien und Prozessen in Geräten wie (O)LEDS, (O)PV, DSSC, transparente Elektroden, thermische Sensoren, Metallbeschichtungen genutzt werden kann. Nanotechnologie: Nanopartikel, selbstorganisierte Nanostrukturen, CNT-Dünnschichten, Fulleren, Graphen, Metall (Oxide), Nanodrähte, Quantenpunkte, Perowskite.
