DLCPLUS

• Beginn des Projekts : 01-09-18
• Ende des Projekts : 28-02-21

Oberflächenbehandlungen wie PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) ermöglichen es, den behandelten Teilen neue Eigenschaften zu verleihen, wie z. B. antibakterielle, ästhetische, optische, mechanische oder verschleißfeste Eigenschaften. Diese letztere Eigenschaften lassen sich z. B. durch DLC-Beschichtungen (Diamond-like Carbon) erreichen, die einen niedrigen Reibungskoeffizienten und eine hohe Härte vereinen. Teile mit komplexen Geometrien und spezifischen Anordnungen stellen jedoch nach wie vor eine Herausforderung in Bezug auf Homogenität, Reproduzierbarkeit über eine große Anzahl von Teilen und allgemeine Prozessstabilität dar.

Um die Produktivität und Qualität von Abscheidungsprozessen zu verbessern, will DLCplus die relevanten Mechanismen untersuchen und klassifizieren, die die Reproduzierbarkeit und Qualität der behandelten Teile bestimmen. Um dieses Ziel zu erreichen, wird der Speziestransport im Plasmaprozess sowie das Filmwachstum auf atomarer Ebene in Abhängigkeit von den zugeführten Flüssen und Energien experimentell und mit Hilfe von Simulationen untersucht. Der Fall der DLC-Abscheidungen soll als Beispiel dienen. Die Ergebnisse von DLCplus ermöglichen die Entwicklung neuer Anlagendesigns und Behandlungsrezepte, wodurch die Homogenität der Folie sowie die Qualität und Stabilität des Prozesses deutlich verbessert werden.

Ziele und Missionen von Materia Nova

Innerhalb des Konsortiums führt Materia Nova Abscheidungen durch und analysiert die von den anderen Partnern vorgeschlagenen Abscheidungen.